408L線性快速溫變?cè)囼?yàn)箱

半導(dǎo)體級(jí)快速溫變?cè)囼?yàn)箱的關(guān)鍵特性

用于半導(dǎo)體可靠性測(cè)試的快速溫變?cè)囼?yàn)箱必須符合以下嚴(yán)苛要求：必須具備很高的溫變速率、出色的溫度均勻性與穩(wěn)定性、精準(zhǔn)的溫度控制以及優(yōu)異的長(zhǎng) 期運(yùn)行可靠性

規(guī)格參數(shù)：

一、適用范圍：

1. 溫度：-70℃至150℃。

2. 濕度：20%至98%RH。

二、表頭控制精度：

1. 溫度：±0.3℃

2. 濕度：±2.5%RH

三、表頭解析精度：

1. 溫度：0.1℃

2. 濕度：0.1%RH

四、加溫時(shí)間： 常溫至150℃，約45分鐘。

五、降溫時(shí)間： 常溫至- 40℃，約60分鐘。

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408L線性快速溫變?cè)囼?yàn)箱

六、機(jī)器結(jié)構(gòu)與材質(zhì)：

3. 內(nèi)箱材質(zhì)：SUS＃304耐熱耐寒不銹鋼板。

4. 外箱材質(zhì)：SUS＃304高張力不銹鋼板，并經(jīng)多道薄膜游離層表面處理。

5. 保溫材質(zhì)：高密度玻璃棉及高強(qiáng)度PU發(fā)泡絕緣材料。

6. 防汗機(jī)件：以系統(tǒng)K型管之熱能作防汗處理。

7. 門氣密材料：高張力parking耐溫-90至280℃。

8. 附屬設(shè)備：

a. 可調(diào)式活動(dòng)盤2只，可任意改變距離。

b. 外接用測(cè)試孔乙只，可作動(dòng)態(tài)測(cè)試。

c. 廣角投射照明設(shè)備，采省電高效率日光燈。

d. 多層真空玻璃視窗，防爆型。

e. 附可調(diào)固定軸及活動(dòng)輪4組。

七、冷凍系統(tǒng)及加熱系統(tǒng)：

1. 省電型高效率法國(guó)泰康壓縮機(jī)。

2. 采環(huán)保R404A冷煤。

3. 全程管路系統(tǒng)氮?dú)饧訅簻y(cè)漏。

4. 波浪狀鰭片型強(qiáng)迫送風(fēng)冷凝器。

5. 斜率式F I N —T U B E蒸發(fā)器。

6.電磁閥；干燥過濾器等冷凍元件。

7. 內(nèi)螺旋式K —T Y P E冷媒銅管。

8. U —T Y P E高速電熱管，加熱迅速。

9.加溫、降溫系統(tǒng)*獨(dú)立，不需手動(dòng)控制

1. 高線性溫變速率與精準(zhǔn)控制

半導(dǎo)體HALT和TCT測(cè)試的核心是快速、精確地達(dá)到目標(biāo)溫度并維持。溫變速率不足會(huì)延長(zhǎng)測(cè)試周期，降低效率；溫度控制不精準(zhǔn)則可能導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果失真或無法復(fù)現(xiàn)。

廣皓天TEE-408PF通過優(yōu)化的制冷/加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)（如復(fù)疊式制冷、高效加熱器）和控制算法，可實(shí)現(xiàn)≥15℃/min的線性溫變速率（具體速率范圍視型號(hào)和溫度跨度而定）。其溫度控制精度可達(dá)±0.5℃，溫度均勻性在空載狀態(tài)下可達(dá)±2.0℃，確保測(cè)試腔內(nèi)各點(diǎn)溫度高度一致，為可靠性評(píng)估提供可信的基礎(chǔ)。其溫度傳感器（通常是高精度Pt100）和快速響應(yīng)的控制回路是實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫的關(guān)鍵。

2. 溫度均勻性與穩(wěn)定性

半導(dǎo)體器件，尤其是晶圓級(jí)或板級(jí)測(cè)試時(shí)，對(duì)測(cè)試腔內(nèi)的溫度均勻性要求很高。不均勻的溫度場(chǎng)會(huì)導(dǎo)致被測(cè)器件（DUT）各部分應(yīng)力不同，影響失效判據(jù)的準(zhǔn)確性。

廣皓天TEE-408PF采用優(yōu)化的風(fēng)道設(shè)計(jì)（如多面出風(fēng)、特殊導(dǎo)流結(jié)構(gòu)）和強(qiáng)力循環(huán)風(fēng)機(jī)，確保在高速溫變過程中仍能維持優(yōu)異的溫度均勻性（如±2.0℃ @ -70℃）。其腔體保溫材料（如高性能玻璃棉）和密封結(jié)構(gòu)有效減少冷熱損失，保證溫度穩(wěn)定性。即使在達(dá)到目標(biāo)溫度后，也能快速穩(wěn)定，減少“過沖"或“欠調(diào)"現(xiàn)象。

3. 高可靠性與耐久性

半導(dǎo)體可靠性測(cè)試往往是長(zhǎng)時(shí)間、高強(qiáng)度的連續(xù)運(yùn)行（如數(shù)百甚至上千次溫度循環(huán)）。設(shè)備的可靠性直接關(guān)系到測(cè)試計(jì)劃的執(zhí)行和結(jié)果的有效性。

廣皓天TEE-408PF的關(guān)鍵部件（壓縮機(jī)、加熱器、風(fēng)機(jī)、控制系統(tǒng)）均選用工業(yè)級(jí)或更高標(biāo)準(zhǔn)的品牌元器件，經(jīng)過嚴(yán)格篩選和老化測(cè)試。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)注重維護(hù)便捷性（如易于更換的過濾器、模塊化設(shè)計(jì)）和運(yùn)行保護(hù)（多重安全報(bào)警：超溫、過流、風(fēng)機(jī)故障、制冷系統(tǒng)高低壓保護(hù)等）。堅(jiān)固耐用的不銹鋼內(nèi)膽能抵抗頻繁熱脹冷縮應(yīng)力和測(cè)試環(huán)境可能的化學(xué)腐蝕（如某些助焊劑蒸汽）。TEE-408PF的設(shè)計(jì)旨在滿足7x24小時(shí)連續(xù)高負(fù)荷運(yùn)行的要求。

4. 滿足潔凈度與低干擾要求（可選/特定需求）

對(duì)于某些敏感器件或特定測(cè)試（如晶圓級(jí)老化），試驗(yàn)箱內(nèi)部的顆粒污染或揮發(fā)物（來自保溫材料、密封件、潤(rùn)滑油等）可能對(duì)被測(cè)器件造成污染或干擾電性能測(cè)試。

廣皓天可提供滿足更高潔凈度要求的TEE-408PF配置選項(xiàng)，例如：
* 低揮發(fā)物材料： 使用經(jīng)過特殊處理的低釋氣（Low Outgassing）密封材料和保溫層。
* 高效空氣過濾： 在循環(huán)風(fēng)路中增加高效微粒空氣（HEPA）過濾器，有效降低腔體內(nèi)顆粒物濃度。
* 密封性優(yōu)化： 增強(qiáng)腔體密封，減少外部污染物侵入和內(nèi)部材料揮發(fā)物逸出。
* 無硅油設(shè)計(jì)考量： 雖然試驗(yàn)箱本身不像注射器直接接觸藥物，但若需杜絕硅油揮發(fā)物風(fēng)險(xiǎn)（某些特殊應(yīng)用場(chǎng)景），可在選材和潤(rùn)滑方案上針對(duì)性設(shè)計(jì)（如使用特定合成潤(rùn)滑脂或干式運(yùn)行設(shè)計(jì)），這需要與制造商明確需求。